研磨剤薬液成分濃度測定
●測定対象；研磨剤薬液成分濃度測定
●測定対象；成分濃度 0～50％
●計測のﾒﾘｯﾄ；半導体製造ラインなどで使用される研磨剤の薬液成分濃度を計測します。
各薬液の循環バイパスラインに専用の液体測定セルを取付け、紫外・可視光を投光し、波長毎の分光透過率を計測し、各薬液成分濃度を計測します。
インラインにて連続分光測定が可能で、その場で各液の吸収透過率がわかり、吸光度演算による濃度解析が可能です。
各液の濃度管理により、研磨性能維持･向上、添加ミス削減、薬液交換目安管理、使用期間延長などが可能になります。
