• 水分濃度測定
• レジスト濃度測定
• 濁度（透過度）測定

測定用途

• 剥離液の水分濃度をリアルタイム計測により、水分濃度を一定に保ち発火防止対策が可能となります。
• 剥離液使用回数に応じたレジスト濃度（色・汚れ）を計測することにより、使用期間の延長、ランニングコストの低減を行います。

製品の特長

• マルチ計測
  
  • 1 台のセンサで最大４成分の同時計測が可能
• 高速応答
  
  • 測定周期56ms
  • 最大４成分のリアタイム出力（DC4～20ｍA）可能
• センサヘッドと測定セルの分離
  
  • センサヘッド（電気部）と測定セルを光ファイバで接続することにより完全に分離することが可能

アプリケーション例

この事例はPDF資料をご用意しております。 半導体・PV Si ウエハ レジスト剥離液濃度センサ(375KB)