炉壁内のヒータからウエハまでの熱伝導に時間がかかる場合、制御が困難になります。
このような場合、コントローラをカスケード構成にする必要があり、チノーの計器で実現できます。
さらに、サイリスタやコントローラの情報を記録計で一元管理することも可能です。

• 石英保護管熱電対: プロファイル形熱電対、L形熱電対、スパイク形熱電対
• 調節計SBシリーズ: 複数ゾーンの制御にも対応
• グラフィックレコーダKRシリーズ:RS-485にて一元管理
• サイリスタレギュレータJMシリーズ:設定表示部を標準搭載した一体形タイプ