シリコン単結晶引き上げ炉向け放射温度計 IR-CZシリーズ

シリコン単結晶引き上げ炉に最適 ― 放射温度計「IR-CZシリーズ」

シリコン単結晶の製造工程において、結晶インゴットの品質を左右するのは、正確な温度制御と結晶位置の把握です。CHINOの「IR-CZシリーズ」は、ビデオスコープ付き放射温度計で、リアルタイムでの映像と温度データの取得を可能にし、より均一な単結晶の製造を支援します。

IR-CZシリーズは、結晶成長炉におけるシリコン溶液や引き上げ中の結晶の測定位置・状態をビデオ映像として表示しながら、放射温度も高精度に測定。測定対象の選択や観察条件の調整も容易で、装置の最適化に貢献します。