人工ダイヤモンド用MPCVD装置用放射温度計

人工ダイヤモンドは、単なる宝飾品ではなく、半導体デバイスへの活用が注目されています。
MPCVD（マイクロプラズマ化学気相成長法）を用いたダイヤモンド結晶製造装置においては、水素・メタンなどの混合プラズマの影響や、長時間稼働による窓ガラスへの炭素付着などにより、窓ガラスの状態が影響を受けにくいことが測定上の重要なポイントとなります。
本放射温度計によるオンライン計測制御は、高品質な人工ダイヤモンド結晶生成に貢献します。