半導体ウエハレジスト剥離液用濃度計

従来のオフライン水分計によるバッチ計測では、
濃度変化に気づけず不良ロットが発生、
剥離液の劣化が判断しづらく交換タイミングが不明確、
水分不足による発火リスクも潜在しておりました。
本製品によるリアルタイム・インライン濃度監視により、 安全性・生産性・コストの全てを改善します。

選ばれる理由4つの理由

設備導入が容易
既存ラインへ光ファイバ分離型で簡単設置
現場密着サポート
サンプル試験から納入立ち合いまでインライン環境には必要不可欠な支援
豊富なラインナップ
設置環境に合わせた機種提案(可視ハイブリッド・防爆)
液再利用提案
測定後の液を既設タンクに戻す装置としてのご提案も可能

ご提案する計測管理システム

KRH.25023.Semicon regist kiquid

※アプリケーション例は、ダウンロードしてご確認ください。

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補足情報

適用分野:半導体製造プロセス
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対象工程:レジスト剥離工程
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主な効果:発火リスク回避、液寿命延長、不良削減・品質安定

温度管理でお困りのことがございましたら、
お気軽にご相談ください

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