Chapter 1
シリコン単結晶引き上げ炉向けIR-CZシリーズ
シリコン単結晶の製造工程では、 結晶成長の状態を確認しながら温度を管理することが重要です。 IR-CZシリーズは、ビデオスコープ付き放射温度計として、 映像と温度データを組み合わせて測定するための製品です。
製品概要
IR-CZシリーズでは、 結晶成長炉におけるシリコン溶液や引き上げ中の結晶の 測定位置・状態をビデオ映像として表示しながら、 放射温度を測定できます。
測定対象の選択や観察条件を確認しながら測定できるため、 結晶引き上げ工程の温度測定を支援します。
主な特徴
高温域2000℃まで対応
高温の結晶成長工程を対象とした温度測定に対応します。
映像と温度を同時に確認
ビデオ映像で測定対象の状態を確認しながら、 放射温度を測定できます。
データ保存・解析
温度データを保存し、 後から確認・解析できます。
高画質映像
120万画素の映像に対応し、 測定対象の状態確認を支援します。
省配線構成
PoEハブ接続による省配線構成に対応します。
PCでリアルタイム表示
PCへ接続し、 映像・温度・トレンドグラフを確認できます。
Chapter 2
シリコン単結晶引き上げ炉での温度測定
シリコン単結晶引き上げ炉では、 結晶成長時の状態を確認しながら温度を測定することが求められます。
IR-CZシリーズでは、 温度データだけを見るのではなく、 ビデオ映像によって測定対象の状態や位置を確認しながら測定できます。
| 確認する情報 | IR-CZシリーズで確認する内容 |
|---|---|
| 測定対象 | シリコン溶液や引き上げ中の結晶など、 温度を測定する対象を確認します。 |
| 測定位置 | ビデオ映像を確認しながら、 測定位置や対象の状態を確認します。 |
| 温度 | 放射温度計によって対象の温度を測定します。 |
| 時間変化 | 温度データを保存し、 トレンドとして確認・解析できます。 |
半導体製造における温度管理全体については、 「半導体製造における温度管理とは？」 で詳しく整理しています。
Chapter 3
システム構成と接続例
IR-CZシリーズは、本体だけで使用するのではなく、 インターフェースやネットワーク、PCなどを組み合わせて 映像・温度・トレンドグラフを確認できます。
| 構成要素 | 役割 |
|---|---|
| IR-CZ本体 | 映像と放射温度を取得します。 |
| I/Fコンバーター | 本体と接続機器とのインターフェースとして使用します。 |
| PoEハブ または RS-485 | システム構成に応じて接続します。 |
| 電源 | 24V DCを使用します。 |
| PC | 映像、温度、トレンドグラフを表示します。 |
工場のネットワークや上位装置との連携については、 設備構成や通信条件を確認したうえで検討します。
Further reading
IR-CZシリーズの詳細資料
IR-CZシリーズの仕様やシステム構成を、 PDF資料でも確認できます。
Webページで製品の概要を確認してから、 詳細資料をご覧いただけます。
