基板測定

様々な大きさの基板や電子部品に応じた分解能が求められます。動画収録に対応するソフトウェアも必須です。
基板全体や顕微測定にも対応しソフトウェアで動画収録が多い。

形式	CPA-T560□ ＊レンズが選択できます	CPA-T540□ ＊レンズが選択できます	A6751
外観
素子数	640×480	464×348	640×512
視野角	24°	24°	11°
温度分解能	0.04℃	0.04℃	0.02℃
空間分解能	0.66mrad	0.9mrad	0.15mrad
オプションレンズ	マクロモード：□50µm～マクロレンズ：□24µm	マクロモード：□71µm～マクロレンズ：□34µm	×1レンズ：□15µm～ ×3レンズ：□5µm