光干渉式膜厚計 IRMS8599S

IRMS8599Sは測定対象の薄膜に投光し、表面反射光と裏面反射光による干渉から膜厚を測定します。膜厚が厚くなるほど、反射率スペクトルに現れる波(干渉波)の数が増加する原理を利用して膜厚を計測します。検量線が不要で、高精度な計測が行えます。

  • RS-485通信・アナログ出力機能搭載
  • 連続分光方式でFFT解析、CF(カーブフィッテング)解析が可能
  • 最大4層を同時計測
  • 使用温度0~50℃、IP65(防塵防滴構造)

 

機種一覧

名称 形式 価格(税別)
光干渉式膜厚計 IRMS8599S ¥3,500,000
※ファイバ、ケーブル、アクセサリ関係は別売りです。

仕様

測定方法可視近赤外連続分光方式
測定範囲20nm~100μm
測定波長域0.4~1.0μm
測定距離/径10~80mm/φ20mm(平行光鏡筒)
18mm/φ2mm(収束光鏡筒)
80mm/φ5mm(収束光鏡筒)
測定間隔10~10000ms
光源タングステンランプ
ファイバ二分岐バンドルファイバ
通信インターフェイスRS-485
アナログ出力信号4~20mA DC(負荷抵抗500Ω以下)
電源24V DC
消費電力最大150VA
質量3.5kg
保護構造防塵防滴構造(IP65)